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現(xiàn)代化工業(yè)數(shù)字化測量要求高精度化,、低成本和小型化,,因?yàn)橹T如汽車發(fā)動機(jī)等均要求其組成零部件必須具有非常高的精度,以便減少噪聲,、防止環(huán)境污染和節(jié)省能耗,,這些都是時代對制造業(yè)提出的緊迫要求。
SuperViewW1表面輪廓測量儀器具有測量精度高,、功能全面,、操作便捷、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn),,測量單個精密器件的過程用時2分鐘以內(nèi),,確保了高款率檢測。并且其特殊光源模式,,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量,。
產(chǎn)品參數(shù)
產(chǎn)品型號:SuperView W1系列
產(chǎn)品名稱:光學(xué)3D表面輪廓儀
影像系統(tǒng):1024×1024
光學(xué)ZOOM:0.5×,(0.75×,,1×可選)
干涉物鏡:10×,,(2.5×,5×,,20×,,50×,100×可選)
XY平臺:尺寸320×200mm,,行程140×110mm,,電動、手動同時具備,,均為光柵閉環(huán)反饋
Z軸行程:100mm,,電動
Z向掃描范圍:10mm
Z向分辨率:0.1nm
水平調(diào)整:±5°手動
粗糙度RMS重復(fù)性:0.005nm
臺階高測量:準(zhǔn)確度0.3%,重復(fù)性0.08% 1σ
主要特點(diǎn):非接觸式無損檢測,,一鍵分析,、測量速度快
生產(chǎn)企業(yè):深圳市中圖儀器股份有限公司
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SuperViewW1表面輪廓測量儀器采用白光干涉技術(shù),,結(jié)合具有抗噪性能的3D重建算法,,還原樣品的每一個細(xì)節(jié),,隨意翻轉(zhuǎn)縮放,都能測量樣品的任意特征,。粗糙度,、平面度、孔洞分析等3D測量功能全部囊括,,距離,、角度、直徑測量等2D輪廓分析功能覆蓋,,有依據(jù)ISO|ASME|EUR|GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)的300余種特征參數(shù),。
性能特點(diǎn)
1、高精度,、高重復(fù)性
1)采用光學(xué)干涉技術(shù),、精密Z向掃描模塊和3D重建算法組成測量系統(tǒng),保證測量精度高,;
2)隔振系統(tǒng)能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動,,消除地面振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲,保障儀器在大部分的生產(chǎn)車間環(huán)境中能穩(wěn)定使用,,獲得測量重復(fù)性,;
2、一體化操作的測量分析軟件
1)測量與分析同界面操作,,無須切換,,測量數(shù)據(jù)自動統(tǒng)計,實(shí)現(xiàn)了快速批量測量的功能,;
2)可視化窗口,,便于用戶實(shí)時觀察掃描過程;
3)結(jié)合自定義分析模板的自動化測量功能,,可自動完成多區(qū)域的測量與分析過程,;
4)幾何分析、粗糙度分析,、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析、功能分析五大功能模塊齊全,;
5)一鍵分析,、多文件分析,自由組合分析項(xiàng)保存為分析模板,,批量樣品一鍵分析,,并提供數(shù)據(jù)分析與統(tǒng)計圖表功能;
6)可測依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT等標(biāo)準(zhǔn)的多達(dá)300余種2D、3D參數(shù),。
3,、精密操縱手柄
集成X、Y,、Z三個方向位移調(diào)整功能的操縱手柄,,可快速完成載物臺平移、Z向聚焦,、找條紋等測量前工作,。
4、雙重防撞保護(hù)措施
除初級的軟件ZSTOP設(shè)置Z向位移下限位進(jìn)行防撞保護(hù)外,,另在Z軸上設(shè)計有機(jī)械電子傳感器,,當(dāng)鏡頭觸碰到樣品表面時,,儀器自動進(jìn)入緊急停止?fàn)顟B(tài),,最大限度的保護(hù)儀器,降低人為操作風(fēng)險,。
5,、雙通道氣浮隔振系統(tǒng)
既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以接入標(biāo)配靜音空壓機(jī),在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作,。
SuperViewW1采用了掃描模塊和內(nèi)部抗振設(shè)計,,可實(shí)現(xiàn)高0.05%的測量精度重復(fù)性和0.002nm的粗糙度RMS重復(fù)性。直觀的操作界面,,對操作流程一目了然,,自動聚焦實(shí)現(xiàn)一鍵測量過程;可視化的工作流程樹,,一鍵激活的圖庫管理功能,所見即所得的分析功能,,有一鍵分析功能,,批量測量不用愁。